Descripción
SolidSpec 3700/3700DUV
Shimadzu ha lanzado la serie SolidSpec-3700/3700DUV de espectrofotómetros de muy alta performance. Es el espectofotómetro UV-VIS-NIR de más altas prestaciones en el mundo: el primero con 3 detectores.
El SolidSpec-3700DUV incorpora la capacidad de mediciones en el UV profundo (Deep UV) hasta 165 nm (con purga de gas nitrógeno).
La serie SolidSpec-3700/3700DUV fue desarrollada usando los últimos avances de la tecnología para satisfacer las necesidades de industrias electrónicas y ópticas y centros de investigación en materiales.
Por ejemplo, pueden medir el área total de wafers de 12 pulgadas (30,5cm), evaluando la reflectancia NIR de los recubrimientos antireflectantes usados en equipamiento para comunicaciones ópticas.
En el otro extremo, la evaluación de materiales ópticos en el UV profundo es necesaria debido a que se usan longitudes de onda cada vez más cortas en los láser de irradiación empleados en sistemas de exposición para producción de semiconductores.
NUEVA TECNOLOGÍA
El SolidSpec incorpora la más moderna tecnología en espectrofotómetros UV/VIS/NIR:
- Es el primer espectrofotómetro UV/VIS/NIR en el mundo equipado con 3 detectores para alcanzar la máxima sensibilidad: un tubo fotomultiplicador (PMT) para las regiones ultravioleta y visible, y detectores de InGaAs y PbS refrigerado para la región del infrarrojo cercano (NIR). El detector InGaAs sirve de puente para la brecha que existía hasta ahora entre el PMT y el PbS, para asegurar la mayor sensibilidad en todo el rango de longitudes de onda.
- Sensibilidad ultra-alta y luz espuria ultra-baja, una combinación que parecía imposible: usando un fotomultiplicador y una lámpara de deuterio con ventanas de cuarzo, y una esfera integradora con paredes internas de un polímero especial que es muy reflectante en todo el rango incluyendo el D-UV, el SolidSpec-3700DUV es capaz de medir en el rango entre 175 y 2600 nm aún usando la esfera integradora. Si se instala la unidad opcional de detección directa DUV, el sistema es capaz de medir en el rango de 165 a 3300 nm. Ningún espectrofotómetro disponible actualmente en el mercado dispone de un rango tan amplio.
- Un compartimiento de muestras extra-grande permite medir una amplia variedad de muestras: con un innovador sistema óptico tridimensional (patente pendiente) y un gran compartimiento pensado para ensayos no-destructivos, se pueden medir muestras de hasta 700 x 560 mm. Además, un soporte opcional con movilidad X-Y permite mediciones más rápidas.
IDEAL PARA MÚLTIPLES INDUSTRIAS
La alta sensibilidad y el gran compartimiento de muestras del SolidSpec lo hacen el instrumento ideal para múltiples industrias:
- Semiconductores: el SolidSpec permite mediciones en el rango DUV, requeridas para evaluar materiales ópticos, debido a que se usan longitudes de onda cada vez más cortas en los láser de irradiación empleados en sistemas de exposición para producción de semiconductores. Las generosas dimensiones del compartimiento de muestras también son importantes para la medición de wafers de 12 pulgadas.
- Comunicaciones ópticas: la alta sensibilidad en la región NIR, que el SolidSpec provee, es importante para evaluar los revestimientos antireflectantes por su baja transmitancia en la regíon entre 1300 y 1500 nm.
- Materiales ópticos: donde se requiere la medición exacta de las características ópticas en todo el rango, desde el DUV hasta el NIR, el SolidSpec le da la sensibilidad requerida. Los compartimientos de muestras grandes también son importantes para el ensayo no-destructivo de los materiales ópticos.
- Pantallas planas (FPD): Los FPD se usan cada vez más para reemplazar las placas radiográficas, tanto en aplicaciones médicas como en industrias. Para evaluar las características de los materiales usados en los FPD se requiere alta sensibilidad en la región NIR. Por otro lado, cada vez se fabrican FPDs de mayor tamaño, por lo que también es importante contar con compartimientos de muestras grandes.
Vea también el espectrofotómetro UV-VIS-NIR Shimadzu UV-3600, de prestaciones similares, para muestras líquidas.
Para especificaciones del software vea UV-Probe
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